机械与电气工程学院


 
导师代码: 11037
导师姓名: 朱煜
性    别:
特    称:
职    称: 教授
学    位: 博士
属    性: 兼职
电子邮件: zhuyu@tsinghua.edu.cn

学术经历:   1983.7获北京师范大学无线电电子学系理学学士学位;1993.9获中国矿业大学信电学院计算机系工学硕士学位;2001.7获中国矿业大学机电工程学院工学博士学位。2007.12-今,清华大学精密仪器与机械学系教授、博士生导师。 2009.12-今 电子科技大学兼职教授。

个人简介:   研究方向: 作为国家创新团队负责人,带领清华9名教师、以及研究生与工程研究人员等组成的百余人重大科技研究攻关团队,面向IC制造装备超精密动力学系统与控制、纳米精度工程与测控技术、IC制造装备精密机电系统,围绕纳米级运动精度的生成,在清华建设有国内一流的精密机械、测控及集成平台,支撑超精密机电系统基础理论及关键技术研究。具体方向包括:特种电机设计与功率驱动;精密与超精密机电系统结构动力学设计、分析与集成;精密与超精密运动系统建模、分析与控制;多自由度运动系统精密与超精密动态测量;高性能隔震系统设计与振动检测、主动控制等。 主要荣誉: 2012年入选国家“万人计划”首批科技创新领军人才,科技部“重点领域创新团队”带头人; 2011年获科技部“十一五国家科技计划执行突出贡献奖”; 重大专项实施管理办公室“产学研合作奖”(2011)与“突出贡献奖”(2010) 主要兼职: IC装备重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长(装备组组长); 中国机械工程学会高级会员,IEEE会员,北京电子制造装备行业协会常务理事,《半导体学报》常务理事、编委,《仪器科学》编委,长期担任《机械工程学报》等国内外学术期刊审稿人; 中科院光电研究院、复旦大学微电子学院等兼职教授; 光刻设备产业技术创新战略联盟副理事长、专家委员会副主任,沈阳IC装备产业技术创新联盟专家委员会副主任。

科研项目:   近5年主持国家级科研项目近20项,包括973、国家自然科学基金、国家科技重大专项、863等,累计科研经费近3.5亿元。主持撰写国家科技专项发展战略报告及专题研究报告30余份,出版学术专著2部,发表学术论文160余篇,其中SCI收录近40篇,EI收录近140篇。申请国家发明专利120余项(其中9项美国发明专利、14项PCT专利),授权40余项(其中4项美国发明专利)。

研究成果:   1) Badong Chen,Zhu Yu,Hu Jinchun, Jose C.Principe. System Parameter Identification Information Criteria & Algorithms,Elsevier(英文版).2013. 清华大学出版社(中文版).2014 2) 陈霸东,朱煜,胡金春. 《系统参数辨识的信息准则及算法》,清华大学出版社,2011 3) Yang, J; Zhu, Y; Yin, WS; Hu, CX; Yang, KM; Mu, HH. LFT Structured Uncertainty Modeling and Robust Loop-Shaping Controller Optimization for an Ultraprecision Positioning Stage. IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS. 2014. 61(12): 7013-7025(SCI:AP7UQ EI:20144100084471) 4) Yu, DD; Zhu, Y; Yang, KM; Hu, CX; Li, M. A time-varying Q-filter design for iterative learning control with application to an ultra-precision dual-stage actuated wafer stage. PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART I-JOURNAL OF SYSTEMS AND CONTROL ENGINEERING. 2014. 228: 658-667 (SCI: AR0SH,EI:20144600205520) 5) Jiang, Y; Yang, KM; Zhu, Y; Li, X; Yu, DD. Optimal feedforward control with a parametric structure applied to a wafer stage. PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART I-JOURNAL OF SYSTEMS AND CONTROL ENGINEERING. 2014. 228: 97-106 (SCI:AJ8OA,EI:20141817667592) 6) Chen, H; Hu, CX; Mu, HH; Zhu, Y; Cai, T; Zhang, M. Structure Design and Trajectory Planning of a Precision Repetitive-Scanning Stage with Separated Drive Units for Heat-Reduction. IEEE ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics. 859-864. 2014. (SCI:BB8FG, EI:20143618126559) 7) Ji, Guofeng; Hu, Jinchun; Zhu, Yu; Gao, Zhenyu; Yu, Changliang. A novel method to reduce accumulative switching errors in multi-sensor incremental measurement systems. ECS Transactions. 2014. 60(1): 863-868 (EI: 20143218017081) 8) Liu, Zhao; Zhang, Ming; Zhu, Yu; Qi, Lishan; Wu, Yafeng IEEE Int. Study on generation mechanism and stability analysis for air hammer of air-bearing slider. Conf. Mechatronics Autom., (IEEE ICMA). 2014. 1405-1410(EI:20143818167373) 9) Liu, Zhao; Zhang, Ming; Xu, Jing; Zhu, Yu; Hirata, Yasuhisa; Kosuge, Kazuhiro. A passive dance robot with active coordination capability. IEEE Int. Conf. Mechatronics Autom., (IEEE ICMA). 2014. 686-691 (EI:20143818167248) 10) Song, Yujing; Zhang, Ming; Zhu, Yu. Modeling of halbach array magnetic field and motor thrust. Diangong Jishu Xuebao. 2014. 29(11): 61-67. (EI:20145000326293) 11) Li, Xin; Zhu, Yu; Yang, Kaiming; Wang, Xi. Decoupled control for planar motor based on self-adaptive correction for current distribution coefficient. Diangong Jishu Xuebao. 2014. 29(11): 53-60 (EI:20145000326292) 12) Jiang, Yi; Zhu, Yu; Yang, Kaiming; Li, Xin; Yu, Dongdong. Coupled dynamic modeling and analysis of ultra-precision 6-DOF fine stage. Zhongguo Dianji Gongcheng Xuebao. 2014. 34(30): 5451-5457 (EI:20144700217671)

专业研究方向:  
专业名称 研究方向 招生类别
080200机械工程 02智能制造与装备 博士
080200机械工程 03智能感知与控制技术 博士
080200机械工程 05装备智能设计与仿真 博士
085500机械 01不区分研究方向 博士
080200机械工程 02智能制造与装备 硕士
080200机械工程 03智能感知与控制技术 硕士
080200机械工程 05装备智能设计与仿真 硕士
085500机械 02装备智能技术 硕士
085500机械 03产品智能设计与数值仿真技术 硕士


学院列表
01  信息与通信工程学院
02  电子科学与工程学院
03  材料与能源学院
04  机械与电气工程学院
05  光电科学与工程学院
06  自动化工程学院
07  资源与环境学院
08  计算机科学与工程学院
09  信息与软件工程学院
10  航空航天学院
11  数学科学学院
12  物理学院
13  医学院
14  生命科学与技术学院
15  经济与管理学院
16  公共管理学院
17  外国语学院
18  马克思主义学院
21  基础与前沿研究院
22  通信抗干扰技术国家级重点实验室
23  电子科学技术研究院
28  深圳高等研究院